水(shuǐ)下(xià)γ能譜(pǔ)儀是一種(zhǒng)分析物(wù)質(zhì)元(yuán)素(sù)的儀器，常與(yǔ)掃描(miáo)電鏡或者透射(shè)電鏡(jìng)聯(lián)用(yòng)，在真(zhēn)空室下用(yòng)電子(zǐ)束(shù)轟擊(jī)樣品表麵(miàn)，激(jī)發物(wù)質發射(shè)出特征x射(shè)綫(xiàn)，根據(jù)特(tè)征x射(shè)綫(xiàn)的波長(cháng)，定性與半(bàn)定量分(fēn)析(xī)元素(sù)周(zhōu)期表中(zhōng)B－U的元(yuán)素(sù)，EDS可提供樣(yàng)品表麵之微區(qū)定(dìng)性(xìng)或半(bàn)定(dìng)量之成份元素分析，以及(jí)特定區域(yù)之(zhī)point，linescan，mapping分析。

 

　　水下(xià)γ能(néng)譜儀工(gōng)作(zuò)時(shí)，當(dāng)X射綫(xiàn)光子進(jìn)入檢測器(qì)後，在(zài)Si（Li）晶體內激發出一定(dìng)數(shù)目(mù)的電(diàn)子空穴對(duì)。產生(shēng)一個(gè)空穴(xué)對(duì)的平(píng)均(jūn)能量(liáng)ε是一定(dìng)的（在(zài)低(dī)溫(wēn)下(xià)平(píng)均為(wéi)3.8ev），而由一個(gè)X射綫光(guāng)子(zǐ)造(zào)成的(dí)空穴對(duì)的數(shù)目為N＝△E／ε，因(yīn)此(cǐ)，入射X射綫(xiàn)光(guāng)子的能量(liáng)越高，N就越(yuè)大(dà)。

 

　　水下(xià)γ能譜儀(yí)利用加(jiā)在晶體(tǐ)兩(liǎng)端的(dí)偏壓收集(jí)電(diàn)子(zǐ)空穴(xué)對(duì)，經(jīng)過前(qián)置放大器轉(zhuǎn)換成(chéng)電流脈衝，電(diàn)流(liú)脈衝的(dí)高度取決(jué)於N的大小(xiǎo)。電流(liú)脈衝經過(guò)主(zhǔ)放大器轉(zhuǎn)換成(chéng)電壓脈衝進(jìn)入多(duō)道(dào)脈衝高度分(fēn)析器(qì)，脈(mài)衝高度分析器按高度(dù)把脈衝分類進行計數(shù)，這樣就可以(yǐ)描(miáo)出一張(zhāng)X射綫按能(néng)量大小(xiǎo)分(fēn)布(bù)的圖(tú)譜。

 

　　水下γ能譜儀(yí)分(fēn)析數(shù)據(jù)注(zhù)意事(shì)項(xiàng)：

 

　　1，主要用(yòng)於(yú)元素的定(dìng)性分析
；

 

　　2，能譜儀能夠分析(xī)原子(zǐ)序數(shù)大於5的(dí)元素，波譜儀(yí)可以分(fēn)析(xī)原(yuán)子序(xù)數從4～92之間的所(suǒ)有元素
；

 

　　3，EDS的分析(xī)方式有(yǒu)點分(fēn)析(xī)，綫(xiàn)分(fēn)析和麵分析(xī)
；

 

　　4，點分析(xī)得到(dào)一點(diǎn)的(dí)所有(yǒu)元素
；

 

　　5，綫分析(xī)每(měi)次對一(yī)條綫做一種元(yuán)素(sù)分(fēn)析，多(duō)次掃(sǎo)描得(dé)到所(suǒ)有(yǒu)元(yuán)素的(dí)綫(xiàn)分布(bù)
；

 

　　6，麵分析對一個麵內的所(suǒ)有(yǒu)元素(sù)分(fēn)析，測得元(yuán)素(sù)含量是測量麵範(fàn)圍的(dí)平(píng)均值(zhí)
；

 

　　7，EDS做微區分析時所激發的(dí)體積(jī)為10um3左右(yòu)
；

 

　　8，EDS常常與(yǔ)SEM結合使(shǐ)用(yòng)，可對目標(biāo)部(bù)位(wèi)進(jìn)行點，綫(xiàn)，麵形貌(mào)掃描(miáo)和(hé)成分分析
；

 

　　9，檢測(cè)極限(xiàn)：0.1％，隻(zhī)能(néng)做(zuò)半定量分(fēn)析，精度(dù)一般在(zài)1％到5％，深(shēn)度(dù)一般(bān)為1～5微米。