水下能(néng)譜(pǔ)儀是(shì)一(yī)種(zhǒng)分析物質(zhì)元素(sù)的儀(yí)器
，常與(yǔ)掃描電鏡或者(zhě)透(tòu)射電(diàn)鏡聯用
，在真空(kōng)室下(xià)用電(diàn)子(zǐ)束轟擊(jī)樣(yàng)品表(biǎo)麵
，激(jī)發物(wù)質發射出(chū)特征x射(shè)綫
，根(gēn)據(jù)特(tè)征x射綫(xiàn)的波長
，定性與(yǔ)半(bàn)定(dìng)量(liáng)分析(xī)元素(sù)周期(qī)表中B－U的元素
，EDS可提(tí)供(gōng)樣品表麵(miàn)之(zhī)微(wēi)區(qū)定(dìng)性或半定(dìng)量(liáng)之成份(fèn)元素分析(xī)
，以(yǐ)及(jí)特(tè)定區域之(zhī)point
，linescan
，mapping分析(xī)。

 

　　水下能譜(pǔ)儀能(néng)夠分(fēn)析原(yuán)子序數大於5的元(yuán)素
，波(bō)譜儀可以分析(xī)原(yuán)子(zǐ)序(xù)數從(cóng)4～92之間的(dí)所有元(yuán)素(sù)；EDS的分析(xī)方式(shì)有點分析
，綫分析(xī)和麵分析；點(diǎn)分析得到(dào)一點(diǎn)的所有(yǒu)元素(sù)；綫分析(xī)每次(cì)對的一條(tiáo)綫做(zuò)一(yī)種(zhǒng)元素(sù)分析(xī)
，多次(cì)掃描得(dé)到(dào)所(suǒ)有(yǒu)元素的綫(xiàn)分布；麵分析(xī)對一(yī)個(gè)麵(miàn)內(nèi)的所(suǒ)有元素分(fēn)析
，測(cè)得元(yuán)素含(hán)量是測(cè)量麵(miàn)範(fàn)圍的平均值。

 

　　EDS在測試(shì)輕元素（C
，O
，N等(děng)）時
，由於(yú)這(zhè)些(xiē)元素的能量較低(dī)
，有時很難檢(jiǎn)測到
，可以(yǐ)通過增(zēng)加(jiā)采(cǎi)集時(shí)間
，降(jiàng)低加速電壓（元(yuán)素(sù)臨界(jiè)激發能2～3倍）並使(shǐ)用大(dà)孔徑(jìng)光(guāng)闌(lán)。

 

　　電子(zǐ)能譜儀(yí)一般(bān)由(yóu)真空係統(tǒng)
，激(jī)發源(yuán)（X射綫(xiàn)光源
，UV光(guāng)源(yuán)
，電子(zǐ)槍）
，電子能量(liáng)分析(xī)器
，檢(jiǎn)測器和(hé)數(shù)據(jù)係(xì)統(tǒng)
，以(yǐ)及其他附(fù)件等(děng)構(gòu)成。能量(liáng)分(fēn)析(xī)器(qì)用(yòng)於在滿(mǎn)足一(yī)定能量(liáng)分辨率
，角(jiǎo)分辨率和靈(líng)敏(mǐn)度(dù)的要(yào)求(qiú)下(xià)
，析出某(mǒu)能(néng)量(liáng)範圍(wéi)的電子
，測量樣品表麵出射(shè)的(dí)電子能量分布(bù)。

 

　　由於(yú)電(diàn)子能譜檢測的(dí)電子流非常(cháng)弱
，現在(zài)一般采(cǎi)用電子倍增器來測量(liáng)電(diàn)子(zǐ)的(dí)數目(mù)。電(diàn)子(zǐ)倍(bèi)增(zēng)器(qì)主(zhǔ)要有(yǒu)單通(tōng)道(dào)電子(zǐ)倍增(zēng)器(qì)和(hé)多(duō)通(tōng)道(dào)檢(jiǎn)測(cè)器兩種(zhǒng)類型。電(diàn)子(zǐ)能譜分(fēn)析(xī)涉及(jí)大量(liáng)復雜(zá)的數據的采集
，儲(chǔ)存
，分析(xī)和(hé)處理
，數據係(xì)統由在綫實(shí)時計(jì)算機和(hé)相應(yīng)軟(ruǎn)件組(zǔ)成
，它(tā)已成為現代(dài)電(diàn)子能(néng)譜(pǔ)儀的(dí)一個基本部分。