水(shuǐ)下γ能譜儀(yí)是一(yī)種分析物質(zhì)元(yuán)素(sù)的(dí)儀(yí)器
，常與掃(sǎo)描(miáo)電鏡(jìng)或者透射電鏡聯用(yòng)
，在真(zhēn)空(kōng)室下用電(diàn)子束(shù)轟(hōng)擊樣(yàng)品表(biǎo)麵(miàn)
，激(jī)發物質(zhì)發射出(chū)特征x射(shè)綫
，根(gēn)據特征x射(shè)綫(xiàn)的波長
，定(dìng)性(xìng)與(yǔ)半定量分析元素(sù)周期(qī)表中B－U的(dí)元(yuán)素
，EDS可提供樣(yàng)品表麵(miàn)之微區(qū)定性或(huò)半(bàn)定(dìng)量之(zhī)成份元素(sù)分析
，以及(jí)特定區域之point，linescan，mapping分析
。

 

　　水下(xià)γ能譜儀活(huó)度測(cè)量功(gōng)能
，配置(zhì)的(dí)能譜分析程序具有重峰解析功(gōng)能
，且(qiě)內置不同能量射(shè)綫(xiàn)的探測(cè)效率曲(qū)綫（考慮飽(bǎo)和體(tǐ)積(jī)）
，定量測(cè)量水中(zhōng)放(fàng)射性
。活(huó)度測(cè)量(liáng)功能(néng)
，配(pèi)置(zhì)的(dí)能(néng)譜分(fēn)析程(chéng)序具有(yǒu)重峰解析(xī)功能
，且內置不(bù)同(tóng)能量(liáng)射綫的探(tàn)測效(xiào)率(shuài)曲綫（考慮(lǜ)飽(bǎo)和(hé)體積）
，定(dìng)量測量水(shuǐ)中放(fàng)射性
。

 

　　EDS的分(fēn)析(xī)方式有(yǒu)點分析，綫分(fēn)析和麵(miàn)分(fēn)析；點分析(xī)得到一點(diǎn)的(dí)所(suǒ)有元素；綫分析每(měi)次(cì)對(duì)的一條(tiáo)綫(xiàn)做(zuò)一種元(yuán)素(sù)分(fēn)析
，多次掃描得(dé)到(dào)所(suǒ)有元(yuán)素(sù)的綫(xiàn)分布；麵分(fēn)析(xī)對(duì)一個(gè)麵內的所(suǒ)有元素分析
，測(cè)得元素(sù)含(hán)量(liáng)是測量麵範圍的(dí)平均(jūn)值(zhí)；

 

　　瀑布圖與能譜耦合(hé)測量(liáng)活度功能(néng)
，選(xuǎn)取瀑布圖(tú)上異(yì)常的時間段(duàn)
，可以獲(huò)得該時間段內(nèi)的(dí)累(léi)積譜(pǔ)
，然(rán)後進(jìn)行(háng)能(néng)譜(pǔ)分(fēn)析
，計算活(huó)度(dù)；在地圖或(huò)者海(hǎi)圖上顯示(shì)劑(jì)量率等(děng)測(cè)量結(jié)果；放(fàng)射(shè)性活(huó)度(dù)隨(suí)時間變(biàn)化連(lián)續顯示；定製數據(jù)數據通信(xìn)鏈(liàn)路，數據遠(yuǎn)程傳(chuán)輸模(mó)式(shì)；數據(jù)就(jiù)地(dì)存(cún)儲，回放(fàng)功(gōng)能(néng)
。

 

　　X射綫(xiàn)的自(zì)然寬(kuān)度對(duì)譜儀的分(fēn)辨率影(yǐng)響很大
，為了(liǎo)提高(gāo)譜(pǔ)儀(yí)的(dí)分辨(biàn)率就(jiù)要使(shǐ)X射(shè)綫單色化(huà)
，大大減小(xiǎo)X射綫的(dí)譜(pǔ)綫寬(kuān)度
。X射(shè)綫(xiàn)的單(dān)色(sè)性越(yuè)高
，譜(pǔ)儀(yí)的能量(liáng)分(fēn)辨率也(yě)越高
。

 

　　紫外(wài)光電子(zǐ)能譜儀(yí)中(zhōng)使用(yòng)的高強度單色紫(zǐ)外綫源(yuán)常用稀有(yǒu)氣(qì)體(tǐ)的放電共振燈(dēng)提供
。電子(zǐ)槍的(dí)關鍵(jiàn)部件(jiàn)是(shì)電(diàn)子源(yuán)和用於電子束聚焦，整形(xíng)和掃(sǎo)描的透鏡組件(jiàn)
。電(diàn)子源可用(yòng)熱電(diàn)離發射或場發射
。