水(shuǐ)下(xià)能譜儀是一(yī)種分(fēn)析物質(zhì)元(yuán)素的儀(yí)器(qì)，常與(yǔ)掃描電鏡(jìng)或(huò)者透(tòu)射電鏡聯(lián)用(yòng)，在(zài)真空室下用電(diàn)子束轟擊樣品(pǐn)表麵，激發物質發(fā)射出特(tè)征x射綫，根(gēn)據(jù)特征x射綫的(dí)波(bō)長，定性(xìng)與(yǔ)半定(dìng)量分析(xī)元素周(zhōu)期(qī)表(biǎo)中(zhōng)B－U的(dí)元素，EDS可(kě)提供(gōng)樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵之微(wēi)區定(dìng)性(xìng)或半定(dìng)量之成份元素分析，以(yǐ)及(jí)特(tè)定區域之point，linescan，mapping分析。

 

　　水(shuǐ)下能譜儀能夠(gòu)分析原子(zǐ)序(xù)數大於5的(dí)元素(sù)，波譜儀可以(yǐ)分析(xī)原子序數(shù)從(cóng)4～92之間的所(suǒ)有元(yuán)素(sù)；EDS的(dí)分(fēn)析方式(shì)有點(diǎn)分析，綫分析(xī)和麵分(fēn)析；點分析(xī)得到(dào)一(yī)點的(dí)所有(yǒu)元素(sù)；綫(xiàn)分析每(měi)次(cì)對(duì)的(dí)一條綫(xiàn)做一(yī)種元(yuán)素分(fēn)析(xī)，多(duō)次掃(sǎo)描(miáo)得到(dào)所(suǒ)有(yǒu)元(yuán)素(sù)的綫(xiàn)分布；麵(miàn)分析對(duì)一個麵內的(dí)所(suǒ)有元素分析(xī)，測(cè)得元素含量是(shì)測量麵範(fàn)圍(wéi)的(dí)平均(jūn)值(zhí)。

 

　　當X射(shè)綫(xiàn)光子進(jìn)入(rù)檢測器(qì)後(hòu)，在(zài)Si（Li）晶(jīng)體(tǐ)內(nèi)激發(fā)出(chū)一定數目的電子空穴對。產生一個(gè)空穴對(duì)的(dí)平(píng)均(jūn)能量ε是一定的（在(zài)低溫(wēn)下(xià)平均(jūn)為3.8ev），而(ér)由一(yī)個X射綫(xiàn)光(guāng)子(zǐ)造(zào)成的空(kōng)穴對的數目為N＝△E/ε，因此，入射X射綫光(guāng)子的能量越高(gāo)，N就越(yuè)大(dà)。

 

　　利用加(jiā)在晶(jīng)體(tǐ)兩端的(dí)偏壓收集(jí)電(diàn)子(zǐ)空(kōng)穴(xué)對(duì)，經過(guò)前置放(fàng)大器轉換(huàn)成電(diàn)流脈衝，電(diàn)流(liú)脈(mài)衝的(dí)高度取決於(yú)N的(dí)大(dà)小。電(diàn)流(liú)脈衝(chōng)經過主放(fàng)大器(qì)轉換成電(diàn)壓脈衝進入(rù)多道脈衝(chōng)高度(dù)分析器，脈衝(chōng)高度分(fēn)析器按(àn)高度(dù)把脈(mài)衝分(fēn)類(lèi)進行計數，這樣就(jiù)可(kě)以(yǐ)描(miáo)出一張(zhāng)X射綫按(àn)能(néng)量(liáng)大小分布的圖(tú)譜(pǔ)。

 

　　而(ér)波(bō)譜(pǔ)儀是利(lì)用波譜(pǔ)法對(duì)物(wù)質(zhì)的(dí)成分和(hé)結構進(jìn)行分(fēn)析(xī)的儀器(qì)，包括(kuò)X射(shè)綫波(bō)譜(pǔ)儀，核磁共(gòng)振(zhèn)波(bō)譜(pǔ)儀等(děng)。波(bō)譜儀的優點是波(bō)長(cháng)分(fēn)辨率高，但(dàn)由於(yú)結(jié)構(gòu)特(tè)點，波譜(pǔ)儀想要有足(zú)夠(gòu)的(dí)色(sè)散(sàn)率，其聚焦圓的(dí)半徑(jìng)就要(yào)足夠大(dà)，而這(zhè)會(huì)導(dǎo)致X射綫(xiàn)光(guāng)量子的收集率降(jiàng)低(dī)。