水下(xià)能(néng)譜(pǔ)儀為掃描(miáo)電鏡附件(jiàn)
，其(qí)原理(lǐ)為(wéi)電子槍(qiāng)發(fā)射的高(gāo)能(néng)電子(zǐ)由電子(zǐ)光學(xué)係統(tǒng)中的(dí)兩(liǎng)級電(diàn)磁透鏡(jìng)聚(jù)焦(jiāo)成很(hěn)細的(dí)電(diàn)子束(shù)來激發樣品室(shì)中的(dí)樣(yàng)品
，從而產生(shēng)背散(sàn)射電子
，二次電子，俄(é)歇電子(zǐ)，吸收電(diàn)子，透射電子，X射綫和陰極熒(yíng)光等多(duō)種(zhǒng)信息。

 

　　水下(xià)能(néng)譜儀由半導體探測器，前置(zhì)放大器和(hé)多道(dào)脈(mài)衝(chōng)分析(xī)器(qì)組成。它(tā)是利用(yòng)X射綫(xiàn)光子的能(néng)量來進(jìn)行(háng)元(yuán)素(sù)分析(xī)的。X射綫(xiàn)光子有鋰(lǐ)漂移矽(guī)Si（Li）探(tàn)測器接(jiē)收後(hòu)給出電脈衝(chōng)信號
，該信(xìn)號的幅度隨X射綫(xiàn)光子的能量不同(tóng)而(ér)不同。

 

　　脈衝信(xìn)號再經放大器(qì)放(fàng)大整(zhěng)形(xíng)後
，送(sòng)入(rù)多道脈衝高度(dù)分(fēn)析器
，然後根據X射綫光子(zǐ)的(dí)能(néng)量和(hé)強度(dù)區(qū)分樣(yàng)品的(dí)種類(lèi)和高度。

 

　　若(ruò)X射綫光子(zǐ)由(yóu)Si（Li）探測(cè)器(qì)接收後(hòu)給(gěi)出(chū)電脈衝訊號
，由於(yú)X射綫(xiàn)光(guāng)子能(néng)量(liáng)不同(tóng)（對某(mǒu)一元(yuán)素能(néng)量(liáng)為一不(bù)變量）經過放大整形後送人多(duō)道脈衝分析器
，通過顯(xiǎn)象(xiàng)管(guǎn)就可(kě)以觀察(chá)按(àn)照(zhào)特征X射綫能(néng)量(liáng)展(zhǎn)開的(dí)圖譜(pǔ)。

 

　　一定(dìng)能(néng)量上的(dí)圖(tú)譜(pǔ)表示一(yī)定元素
，圖譜(pǔ)上(shàng)峰的高低反(fǎn)映(yìng)樣品中元(yuán)素的含(hán)量(liáng)（量子(zǐ)的數目）這就是(shì)X射綫能譜(pǔ)儀(yí)的基本(běn)原(yuán)理。

 

　　在許(xǔ)多材(cái)料的研(yán)究與(yǔ)應(yīng)用(yòng)中(zhōng)
，需要(yào)用(yòng)到(dào)一(yī)些特殊的(dí)儀器(qì)來(lái)對各種(zhǒng)材料(liào)從成(chéng)分和結構等(děng)方麵進(jìn)行(háng)分(fēn)析(xī)研究(jiū)。其(qí)中
，X射綫(xiàn)能譜儀(yí)（XPS）就是常用(yòng)儀器(qì)。能快(kuài)速，同時對(duì)除H和He以外(wài)的所(suǒ)有元素(sù)進行(háng)元(yuán)素定性，定量分(fēn)析
，幾分鐘內(nèi)就(jiù)可完成；可以直接(jiē)測定(dìng)來(lái)自(zì)樣品單(dān)個(gè)能級(jí)光電(diàn)發射(shè)電子(zǐ)的(dí)能(néng)量(liáng)分(fēn)布
，且直(zhí)接得到(dào)電子(zǐ)能級結(jié)構的信息。

 

　　能譜(pǔ)所需探(tàn)針電(diàn)流(liú)小
，是(shì)一(yī)種無損分析。對電(diàn)子束照(zhào)射後(hòu)易損傷的試(shì)樣
，例(lì)如(rú)生物試樣(yàng)，快離子試(shì)樣，玻(bō)璃(lí)等損傷小。是一(yī)種高靈敏(mǐn)超微(wēi)量表(biǎo)麵(miàn)分析技(jì)術(shù)。分(fēn)析(xī)所需試樣(yàng)約8－10g即(jí)可
，靈敏(mǐn)度(dù)高達(dá)10－18g
，樣(yàng)品(pǐn)分析深(shēn)度約2nm。